| 型号 | HPS-LCF1000 | 工作距离 | 16mm |
| 量程 | 3mm | 线长 | 5.9mm |
| X方向分辨率 | 2.9μm | 最大扫描速率② | 35000Hz |
| Z方向可重复性① | 0.1μm | 全量程下扫描速率③ | 5000Hz |
| X方向点数 | 2048 | 镜面下角度兼容性 | ±20.5° |
| 尺寸（宽*高*深） | 397*449.3*106mm | 重量 | 约19kg |
| 防护等级（EN 60529） | IP55 | 电源 | DC 24V，3.75A |
| 连接方式 | 40G光纤 | 数字量输入 | 光耦输入输出 |
*①该数值为3σ值，是在我司无尘实验室光学平台下测得的镜面标准块的数值，轮廓数200000，积分时间200μs，手动调光信号强度至20%；
*②此速率下X方向扫描点数为1024点，2048点时全量程扫描速率为2500Hz；
*③此速率下X方向扫描点数为1024点，2048点时全量程扫描速率为3100Hz；
*④此时Z方向量程为全量程的1/8；
*所有技术指标以官方最新发布的产品数据手册为准；
*最终解释权归海伯森所有。
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