针对光学镜片表面轮廓的测量,常见的测量方式包含探针法和白光干涉法。彩色激光位移同轴计,采用白光作为测量介质,白光在特殊透镜组下会形成色散效应。被测物体不同深度会反射不同颜色的光,从而能测量探头到被测物体表面距离和位移的目的。
其特别适合测量诸如镜面等全反射面,原因是其与激光三角反射传感器不同,光源是垂直照射被测物体,反光也是垂直返回探头,镜面可以最大限度的反射光斑。而三角反射式传感器就更适合测漫反射面。
使用光谱共焦传感器测量,可以得到超高分辨率。纳米级分辨率源于上述经过特殊处理得到的加长光谱范围。由于采用检测焦点的颜色,得到距离信息,光谱共焦传感器可以采用非常小的测量光斑,从而允许测量非常小的被测物体。这也意味着,即使被测表面有非常轻微的划痕,也逃不过光谱共焦传感器的眼睛。
白光干涉法为非接触式光学测量方法,规避了接触式测量方法存在的问题,同时拥有超高的测量精度。但白光共焦法需采用图像拼合获得完整轮廓,而拼合图像将产生误差,因此不适合较大体积或阵列分布的镜片轮廓测量。
光谱共焦传感器具上述两种测量方法的优势,还拥有超高的角度特性,高达2000Hz的测量频率配合高精度测量平台,保证了轮廓数据的水平方向分辨率,实现精密测量和3D测量的需求。
曲率半径
镜片阵列
划痕检测
海伯森技术光谱共焦传感器
传感头HPS-CF系列
传感头HPS-CFL系列
————————————————————————————————
更多传感器产品,请咨询海伯森技术,专业国产传感器研发生产公司,专注精密测量、3D测量领域,致力于建立一流的高端智能传感器品牌。
公司主营:位移传感器、光电传感器、测距传感器、激光传感器、激光位移传感器
包含:六维力/六轴力传感器、高速工业相机、固态激光雷达、光谱共焦传感器、tof激光雷达、和3D线光谱共焦传感器。
————————————————————————————————