通常情况下，薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离，而实际上，薄膜的表面是不平整，不连续的，且薄膜内部存在着针孔、微裂纹、纤维丝、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等。因此薄膜的厚度大至可以分成三类：形状厚度，质量厚度，物性厚度。
工业生产的薄膜，其厚度是一个重要的参数。随着科技的进步和精密仪器的应用，薄膜厚度的测量方法有很多，按照测量的方式分可以分为两类：直接测量和间接测量。
使用光谱共焦传感器，利用光学的方法，非接触式地测量薄膜的厚度。在检测过程中，白光可以直接穿透，取两个波峰顶点的中间段的值，即为薄膜的厚度。
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